超纯水设备在半导体生产中的优势

来源：哔哩哔哩
时间：2023-09-09 13:46:30

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半导体是消费者日常生活中不可或缺的一部分，可以在诸如电灯开关、车库门开启器和冰箱等家居用品中找到，也可以在诸如移动电话、计算机和汽车等更复杂的产品中找到。

在半导体生产中，超纯水用于晶圆冲洗、化学稀释、化工机械研磨、洁净室环境的加湿等多种场合，超纯水的质量直接关系到半导体的良品率。超纯水设备采用靶向离子交换系统去除超纯水中的硼离子，可以将硼离子含量稳定的控制在3PPT以下，采用独有工艺可以控制在1PPT以下，同时连续稳定地生产高纯度的超纯水。目前广泛应用于晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀、试剂稀释、氟化工等领域。

超纯水设备是采用反渗透系统、EDI装置和抛光混床工艺，将水中的导电介质几乎去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度。超纯水设备的EDI处理装置废水产出量少，不会对环境造成污染，具有非常高的环境效益和经济效益。精混床经过技术升级后，无需任何多余操作即可稳定运行，出水水质可以满足芯片生产用水的相关标准，降低企业的生产成本。

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编辑：杜鹃花技术：米

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